MEMS・半導体関連技術

MEMS・半導体関連技術

MEMSデバイス開発
材料開発、シミュレーション、構造設計、プロセス設計、試作、量産

設計、試作、量産までお客様のイメージするデバイスを実現いたします。

構造設計、プロセス設計、デバイス評価まで一環したデバイス開発が可能です。特にお客様のイメージするデバイスを各種シミュレータとプロセスノウハウによる検証した構造設計が可能です。

実施例 光学、ミラー、超音波、温度、各種センサー類、微細プローブ、インターポーザー、WCSP
力学シミュレーションによる構造設計、解析
力学シミュレーションによる構造設計、解析
光学センサーウェハー
光学センサーウェハー
CMOSMEMS技術開発 TEG例
CMOSMEMS技術開発
TEG例
赤外線センサー ASIC専用システムインPKG開発例
赤外線センサー
ASIC専用システムインPKG開発例

材料調達

< 各種パッケージ、各種ウェハー、プロセス材料、他社デバイス etc. >
既製品から特殊仕様、成膜、パターン付きモニタウェハー作製など。

プロセス加工

< 各種材料成膜、フォトリソ、エッチング、めっき、BG、ダイシング、各種検査、etc. >
各種プロセス部分工程加工

センサー周辺回路

評価ボード作製、PCB、ASIC、ソフトウェア

センサー周辺回路、評価ボード開発の例
ASIC開発

各種評価、解析

電特評価、各種物理解析、分析